Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Филимонова, Н.И. - Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондова...
Филимонова, Н.И. - Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондова...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Филимонова, Н.И.
. I: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондова...
Издательство: Новосибирский государственный технический университет, 2013 г.
ISBN 978-5-7782-2158-1
Автор: Филимонова, Н.И.
. I: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондова...
Издательство: Новосибирский государственный технический университет, 2013 г.
ISBN 978-5-7782-2158-1
На полку
Электронный ресурс
Филимонова, Н.И.
I : Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия / Н.И. Филимонова ; Кольцов Б. Б. – Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2013. – 134 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=228943 . – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-2158-1.
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии.Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Филимонова, Н.И.
I : Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия / Н.И. Филимонова ; Кольцов Б. Б. – Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2013. – 134 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=228943 . – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-2158-1.
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии.Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».