Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Камлюк, В. С. - Технологическое оборудование для микроэлектроники
Камлюк, В. С. - Технологическое оборудование для микроэлектроники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие
Издательство: РИПО, 2014 г.
ISBN 978-985-503-369-2
Автор: Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие
Издательство: РИПО, 2014 г.
ISBN 978-985-503-369-2
На полку
Электронный ресурс
32.844.1я7
Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Д.В. Камлюк. – Минск : РИПО, 2014. – 391 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=463615 . – На рус. яз. – ISBN 978-985-503-369-2.
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
ББК 32.844.1я7
621.3.049.77(075)
32.844.1я7
Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Д.В. Камлюк. – Минск : РИПО, 2014. – 391 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=463615 . – На рус. яз. – ISBN 978-985-503-369-2.
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
ББК 32.844.1я7
621.3.049.77(075)