Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Смирнов, С.В. - Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Смирнов, С.В. - Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Смирнов, С.В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 г.
ISBN отсутствует
Автор: Смирнов, С.В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 г.
ISBN отсутствует
На полку
Электронный ресурс
Смирнов, С.В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем / С.В. Смирнов. – Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. – 115 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=208659 . – На рус. яз.
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур.Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Смирнов, С.В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем / С.В. Смирнов. – Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. – 115 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=208659 . – На рус. яз.
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур.Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».