Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Рогачев, К. А. - Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностно...
Рогачев, К. А. - Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностно...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Рогачев, К. А.
Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностно... : студенческая научная работа
Издательство: [Б. и.], 2020 г.
ISBN отсутствует
Автор: Рогачев, К. А.
Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностно... : студенческая научная работа
Издательство: [Б. и.], 2020 г.
ISBN отсутствует
На полку
Электронный ресурс
Рогачев, К. А.
Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы : студенческая научная работа / Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. – Санкт-Петербург : [Б. и.], 2020. – 44 с. : ил., схем., табл. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=596570. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз.
Данная работа посвящена разработке установки плазмоактивиро-ванного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы и процессов протекающих в установке, с помощью компьютерного моделирования. Для создания 3D модели было использовано ПО SolidWorks. Для моделирования внутренних процессов был использован метод компьютер-ного численного моделирования с использованием специализированной ПО COMSOL Multiphysics.В результате проделанной работы была разработана компьютерная модель установки АСО. Также были получены сведения о распределении газовых поток в реакционном объёме и распределении температуры в реакторе и по поверхности подложкодержателя. Результаты этой работы могут быть использованы при дальнейшем прогнозировании процессов, протекающих во время экспериментов и для модернизации данной установки.
Рогачев, К. А.
Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы : студенческая научная работа / Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. – Санкт-Петербург : [Б. и.], 2020. – 44 с. : ил., схем., табл. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=596570. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз.
Данная работа посвящена разработке установки плазмоактивиро-ванного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы и процессов протекающих в установке, с помощью компьютерного моделирования. Для создания 3D модели было использовано ПО SolidWorks. Для моделирования внутренних процессов был использован метод компьютер-ного численного моделирования с использованием специализированной ПО COMSOL Multiphysics.В результате проделанной работы была разработана компьютерная модель установки АСО. Также были получены сведения о распределении газовых поток в реакционном объёме и распределении температуры в реакторе и по поверхности подложкодержателя. Результаты этой работы могут быть использованы при дальнейшем прогнозировании процессов, протекающих во время экспериментов и для модернизации данной установки.