Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Родионов, Ю. А. - Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Родионов, Ю. А. - Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие
Издательство: Инфра-Инженерия, 2019 г.
ISBN 978-5-9729-0337-5
Автор: Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие
Издательство: Инфра-Инженерия, 2019 г.
ISBN 978-5-9729-0337-5
На полку
Электронный ресурс
Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие. – Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. – 353 с. : ил., табл., схем. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=564833. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр.: с. 350. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9729-0337-5.
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
621.382(076)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы
Родионов, Ю. А.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие. – Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. – 353 с. : ил., табл., схем. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=564833. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр.: с. 350. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9729-0337-5.
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
621.382(076)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы