Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Берлин, Е. В. - Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Берлин, Е. В. - Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Берлин, Е. В.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочник
Серия: Мир материалов и технологий
Издательство: Техносфера, 2010 г.
ISBN 978-5-94836-222-9
Автор: Берлин, Е. В.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочник
Серия: Мир материалов и технологий
Издательство: Техносфера, 2010 г.
ISBN 978-5-94836-222-9
На полку
Электронный ресурс
Берлин, Е. В.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочник. – Москва : Техносфера, 2010. – 528 с. : ил.,табл., схем. – (Мир материалов и технологий) . – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=496417. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-94836-222-9.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Общий = Справочные издания
Берлин, Е. В.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочник. – Москва : Техносфера, 2010. – 528 с. : ил.,табл., схем. – (Мир материалов и технологий) . – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=496417. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-94836-222-9.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Общий = Справочные издания