Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Светличный, А. М. - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Светличный, А. М. - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие
Издательство: Южный федеральный университет, 2017 г.
ISBN 978-5-9275-2395-5
Автор: Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие
Издательство: Южный федеральный университет, 2017 г.
ISBN 978-5-9275-2395-5
На полку
Электронный ресурс
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Южный федеральный университет ; Инженерно-технологическая академия. – Ростов-на-Дону, Таганрог : Южный федеральный университет, 2017. – 105 с. : ил. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-9275-2395-5.
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 –Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
621.373.826(075.8)
621.785.37(075.8)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Южный федеральный университет ; Инженерно-технологическая академия. – Ростов-на-Дону, Таганрог : Южный федеральный университет, 2017. – 105 с. : ил. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-9275-2395-5.
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 –Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
621.373.826(075.8)
621.785.37(075.8)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы