Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Удовиченко, С. Ю. - Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники
Удовиченко, С. Ю. - Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Удовиченко, С. Ю.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие
Издательство: Тюменский государственный университет, 2016 г.
ISBN 978-5-400-01349-2
Автор: Удовиченко, С. Ю.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие
Издательство: Тюменский государственный университет, 2016 г.
ISBN 978-5-400-01349-2
На полку
Электронный ресурс
Удовиченко, С. Ю.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Тюменский государственный университет. – Тюмень : Тюменский государственный университет, 2016. – 228 с. : ил. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-400-01349-2.
Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию – НТК «НаноФаб-100», приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.». Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов «Физические основы микро- и наносистемной техники», «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий», «Вакуумная техника и технологии», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем». Предназначено для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
533.924(075.8)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы
Удовиченко, С. Ю.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Тюменский государственный университет. – Тюмень : Тюменский государственный университет, 2016. – 228 с. : ил. – URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272. – Режим доступа: электронная библиотечная система «Университетская библиотека ONLINE», требуется авторизация . – Библиогр. в кн . – На рус. яз. – ISBN 978-5-400-01349-2.
Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию – НТК «НаноФаб-100», приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.». Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов «Физические основы микро- и наносистемной техники», «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий», «Вакуумная техника и технологии», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем». Предназначено для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
533.924(075.8)
Рубрикатор Университетской библиотеки онлайн = Учебник для высшей школы