Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор:
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Издательство: Беларуская навука, 2016 г.
ISBN 978-985-08-1993-2
Автор:
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Издательство: Беларуская навука, 2016 г.
ISBN 978-985-08-1993-2
На полку
Электронный ресурс
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 253 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=443947 . – На рус. яз. – ISBN 978-985-08-1993-2.
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
621.382
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 253 с. – URL: http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=443947 . – На рус. яз. – ISBN 978-985-08-1993-2.
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
621.382